中国首台国产商业电子束光刻机进入应用测试

【纬度新闻网】据《杭州日报》报道，近日，中国首台国产商业电子束光刻机“羲之”在浙江大学余杭量子研究院完成研发并进入应用测试阶段，其精度已比肩国际主流设备，标志着中国量子芯片研发拥有了自主可控的“刻刀”工具。

在测试现场，这台外形酷似大型钢柜的设备正在高速运行，电子屏幕上实时滚动显示参数数据。研发团队形象地称它为一支“能在头发丝上雕刻出整座城市地图的纳米神笔”。依托浙江省重点实验室，研究院自主研发的这台新一代100kV电子束光刻机已正式投放市场。

“羲之”名称取自书法大家王羲之。研发负责人介绍，这台设备的“毛笔”是高能电子束，能够在硅基材料上“手写”电路，精度达到0.6纳米，线宽仅8纳米。与传统光刻不同，它无需掩膜版，可在芯片研发早期灵活修改设计，如同用纳米级毛笔在芯片上精密作画，特别适用于量子芯片和新型半导体研发中的反复调试环节。